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SD-MSS-1K2G
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SD-MSS-1K2G
멤브레인 타입 센서
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Membrane-type Surface-stress Sensor (MSS)

(멤브레인 타입 센서)



  Product Description

 What is the MSS?

The MSS is a non-packged MEMS sensor, a silicon membrane platform support with four beams on which piezoresistors are
embedded.

 Two major applications :

(i) The MSS has a great potential as a core component for electronic (artificial) nose systems utilized in e.g., medical, food,
environment, safety and security fields.
(ii) The MSS can also be used for assessment of various materials like organic conductors, magnetic and superconductor
materials in torque magnetometry.

                                           

 
  Applications


How to apply the MSS for gas/ordor sensing :

Initially, the membrane is coated with a receptor layer sensitive to e.g., volatile organic compounds (VOCs), which determines the sensitivity and the specificity of the individual sensor.

The coating is done with e.g., inkjet spotter, spray coater, or manually with micropipette.

Upon absorbing VOCs, the receptor layer yields surface stress and deforms the membrane, which induces resistance changes of the piezoresitors. By monitoring the changes, the presence of the target gas/odor molecules is detected.



Torque magnetometry, force sensing :

SD-MSS-1KTM is specially designed for those applications. The sensing beams are long and form "bending" and  "torsional"
axes. Each piezoresistors can individually addressed. Users can test various measurement configurations.

 
 Product code SD-MSS-1K2G 
Membrane size (um) 1000 round
Membrane thickness (um) 2.8 (typical)
Chip dimensions (mm) 5.5 x 2.5 x 0.3
Resistance value (kΩ) 2 - 6 
Electric configuration Full bridge, 4 pads, 0.5mm pitch 
Coating X
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대표자
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제2017-서울송파-1811호
대표전화
070-7836-5319
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