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TGXYZ Calibration sample
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TGXYZ Calibration sample
20/100/500nm Height, 5/10um Pitch
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AFM/SPM Standard Sample

(원자현미경/주사탐침현미경 표준시편)



  Product Description

Calibration gratings from the TGXYZ series are arrays of different structures comprising rectangular SiO2 steps on a Si wafer. The small square in the center with dimensions 500 µm by 500 µm includes circular pillars and holes, as well as lines in the X- and Y- direction with a pitch of 5 µm. The large square with dimensions 1mm by 1mm contains square pillars and holes with a pitch of 10 µm.

The step height value is calibrated over the whole active area. The actual step height, indicated on the individual unit label, may differ slightly from the nominal value.

  • step height 20 nm, accuracy 2%
  • array pitch 5 and 10 µm, accuracy 0.1 µm
  • active area 1 x 1 mm
  • chip dimensions 5 x 5 x 0.3 mm
  • available mounted on a 12 mm metal plate (TGXYZ01) or unmounted (TGXYZ01/NM)
  • versions of the same grating with step height 100 nm and 500 nm also available


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